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當前位置：首頁 >產(chǎn)品中心>燒結不銹鋼濾芯>不銹鋼金屬過濾器>超純氣流工藝氣體一體式過濾器
簡要描述：工藝氣體專用過濾器，專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設計。結合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性，擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003μm。全316L不銹鋼結構，不僅確保高效過濾，更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生，對工藝室環(huán)境造成影響，有效防止氣流吹起顆粒或者吹起硅片?？啥ㄖ苹O計，靈活適應各類安裝空間。
產(chǎn)品型號：廠商性質：生產(chǎn)廠家 更新時間：2024-11-11訪 問 量：115 產(chǎn)品分類
Product Category詳細介紹
產(chǎn)品介紹
工藝氣體專用過濾器，專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設計。結合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性，擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003μm。全316L不銹鋼結構，不僅確保高效過濾，更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生，對工藝室環(huán)境造成影響，有效防止氣流吹起顆?；蛘叽灯鸸杵??？啥ㄖ苹O計，靈活適應各類安裝空間。
產(chǎn)品特點
?不銹鋼粉末燒結介質，可快速排氣
?整體316L不銹鋼結構
?減少工藝腔體排氣時的湍流
?適用于多種工藝氣體
?潔凈室環(huán)境內制造、測試、包裝
?100%完整性測試通過
?100%氦氣泄露檢測通過
?耐高溫、耐高壓、耐腐蝕
?防止微?；烊耄瑤椭岣弋a(chǎn)品合格率
?可根據(jù)安裝空間進行設計
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