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簡要描述：大流量氣體過濾器，專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用設計，采用全316L不銹鋼精密打造，多柱狀或疊盤狀介質設計確保高流通量下低阻損，過濾精度高達0.003μm，滿足超高純工藝需求。整體金屬構造，是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決方案
產品型號：廠商性質：生產廠家 更新時間：2024-11-11訪 問 量：86 詳細介紹
產品介紹
大流量氣體過濾器，專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用設計，采用全316L不銹鋼精密打造，多柱狀或疊盤狀介質設計確保高流通量下低阻損，過濾精度高達0.003μm，滿足超高純工藝需求。整體金屬構造，是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決方案
產品特點
?不銹鋼粉末燒結介質，可快速排氣
?整體316L不銹鋼結構
?減少工藝腔體排氣時的湍流
?適用于多種工藝氣體
?潔凈室環(huán)境內制造、測試、包裝
?100%完整性測試通過
?100%氦氣泄露檢測通過
?耐高溫、耐高壓、耐腐蝕
?防止微粒混入，幫助提高產品合格率
?可根據安裝空間進行設計
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