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簡(jiǎn)要描述：工藝氣體專用過濾器，專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)。結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動(dòng)特性和高效過濾器的顆粒攔截特性，擴(kuò)散器專用過濾器過濾精度可達(dá)0.003μm。全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)，不僅確保高效過濾，更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生，對(duì)工藝室環(huán)境造成影響，有效防止氣流吹起顆粒或者吹起硅片?？啥ㄖ苹O(shè)計(jì)，靈活適應(yīng)各類安裝空間。
產(chǎn)品型號(hào)：廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家 更新時(shí)間：2024-11-11訪 問 量：137 產(chǎn)品分類
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產(chǎn)品介紹
工藝氣體專用過濾器，專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)。結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動(dòng)特性和高效過濾器的顆粒攔截特性，擴(kuò)散器專用過濾器過濾精度可達(dá)0.003μm。全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)，不僅確保高效過濾，更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生，對(duì)工藝室環(huán)境造成影響，有效防止氣流吹起顆?；蛘叽灯鸸杵？啥ㄖ苹O(shè)計(jì)，靈活適應(yīng)各類安裝空間。
產(chǎn)品特點(diǎn)
?不銹鋼粉末燒結(jié)介質(zhì)，可快速排氣
?整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)
?減少工藝腔體排氣時(shí)的湍流
?適用于多種工藝氣體
?潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測(cè)試、包裝
?100%完整性測(cè)試通過
?100%氦氣泄露檢測(cè)通過
?耐高溫、耐高壓、耐腐蝕
?防止微?；烊耄瑤椭岣弋a(chǎn)品合格率
?可根據(jù)安裝空間進(jìn)行設(shè)計(jì)
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